химическое осаждение металлоорганического соединения из паровой фазы

cheminis garinis metaloorganinio junginio nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. metallo-organic chemical vapor deposition vok. chemische metallorganische Abscheidung aus der Gasphase, f rus. химическое осаждение металлоорганического соединения из паровой фазы, n pranc. dépôt chimique en phase vapeur métallo-organique, m